为本公司开发生产之光阻显影液。
适用于负型光阻。
显影效果佳，制程稳定。
主成份为 4.5% 碱。
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外 观
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透明液体
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浓度 (碱)
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4.5 %
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水 溶 性
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可互溶
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包 装 方 式
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200公斤/桶
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储 存
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12个月
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物料准备 制程参数调整： 显影液活性周 制程稳定性测试 数据汇整及报告完成
测试曝光能量、显 期及电导度稳
影速度、导电度、 定性测试
温度制程条件
以LCD结构要求作参考：
即彩色OC膜厚为1.2+0.2μm(IR炉硬烤1.5+0.2μm），幅宽为72+5μm。
彩色OC线各机台原有参数:
涂布：压力0.05MPa、目标Gap90μm、速度为60mm/s；
预烤：温度120℃、时间25sec×7；
曝光：能量120+10mj/cm2、曝光GAP:200μm；
显影：导电度8+1.5ms/cn、速度4+0.5m/min、温度23+1℃；
固烤：温度120℃、时间25sec×7。
以上述参数为基准，测试曝光能量，显影导电度、速度、温度制程条件。
